臺式掃描電子顯微鏡的概念是由美國FEI公司（1997年原FEI和飛利浦電子光學(xué)合并而成)提出的，并于2006年正式發(fā)布了旗下的Phenom飛納臺式掃描電鏡，而后于2009年成立Phenom-World（飛納世界）公司，專業(yè)研發(fā)并生產(chǎn)臺式掃描電鏡。
放大倍數(shù)：20000x；分辨率：優(yōu)于30nm；燈絲：1500小時(shí)CeB6燈絲；
抽真空時(shí)間：10秒；樣品移動方式：自動馬達(dá)樣品臺；
樣品定位方式：光學(xué)和低倍電子雙重導(dǎo)航；
樣品導(dǎo)電性要求：無需噴金，直接觀測絕緣體；
臺式掃描電子顯微鏡拓展功能：3D粗糙度重建、纖維統(tǒng)計(jì)測量，高倍拼圖，顆粒測量系統(tǒng)，面掃，點(diǎn)掃，線掃，區(qū)域掃等；溫控樣品臺，可直接觀測液體。
PhenomProX的背散射圖像，首先從視覺上用不同的灰度呈現(xiàn)不同的元素，進(jìn)一步利用PhenomProX的SDDX射線探測器，就能輕松確認(rèn)不同灰度區(qū)域元素的名稱和含量，提供5-95號元素的點(diǎn)掃描，線掃描和面掃描三種分析模式。
PhenomProX的臺式掃描電子顯微鏡系統(tǒng)和X射線能譜儀系統(tǒng)使用的軟件均由Phenom-World公司編寫，用戶通過一個界面就可以操控兩項(xiàng)功能，圖形化的設(shè)計(jì)，使操作變得的簡單，點(diǎn)擊感興趣的區(qū)域，在數(shù)秒內(nèi)既可以得到微觀形貌信息，同時(shí)得到該區(qū)域的表面元素分布信息。
