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TEM樣品制備精修離子束系統(tǒng)

更新時間：2024-06-14

產(chǎn)品型號：GIB

所屬分類：離子減薄儀-TEM 樣品制備

描述：TEM樣品制備精修離子束系統(tǒng)的低能氬離子槍（GIB）適用于表面減薄、其他表面處理后的后處理、清潔以及去除無定形和氧化物表面層。當?shù)湍軞咫x子槍集成到掃描電鏡中時，其作用尤為明顯。有了集成離子槍，就可以在研究之前對樣品進行精修。實現(xiàn)高質(zhì)量樣品的另一個重要應用是在雙束 SEM / FIB 系統(tǒng)中進行 FIB 樣品制備后，對 TEM 樣品進行最終拋光和溫和的表面清潔。

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Technoorg Linda GIB TEM樣品制備精修離子束系統(tǒng)

用于掃描電鏡 / 雙束電鏡的氬離子束方案

TEM樣品制備精修離子束系統(tǒng)

Technoorg Linda GIB TEM樣品制備精修離子束系統(tǒng)的低能氬離子槍（GIB）適用于表面減薄、其他表面處理后的后處理、清潔以及去除無定形和氧化物表面層。當?shù)湍軞咫x子槍集成到掃描電鏡中時，其作用尤為明顯。有了集成離子槍，就可以在研究之前對樣品進行精修。實現(xiàn)高質(zhì)量樣品的另一個重要應用是在雙束 SEM / FIB 系統(tǒng)中進行 FIB 樣品制備后，對 TEM 樣品進行最終拋光和溫和的表面清潔。

可與掃描電鏡集成

帶波紋管的傳輸系統(tǒng)可通過連接管安裝到掃描電鏡上。連接管輸出法蘭的尺寸與相應的 SEM 端口尺寸相匹配。通過線性傳輸系統(tǒng)提供的離子源流動性，可實現(xiàn)理想的工作距離（15-30 mm）。

低能量氬離子槍

低能量離子槍的直徑和長度均為 50mm。氬離子束的能量范圍：100eV - 2kV。 2kV 時的最大束流為 70µA。離子束為寬束，半最大全寬（FWHM）為 2mm。

半管支架

低能量離子槍安裝在半管支架中。

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